跟着半导体产线分娩工艺经由越来越复杂外国色情片,产线开导间的传统物料搬运时势,也曾成为制约分娩效率和分娩质料的瓶颈。为此,AMHS自动物料搬运系统应时而生,在半导体晶圆制造表率的应用运行徐徐普及。
中文娱乐AMHS系统的特色与应用价值主要体现时:高可靠性、高自动化与信息化、高效率、高度纯真性与可扩展性。格创东智以为,跟着半导体时刻的抓续演进,晶圆的尺寸不休增大,使得半导体工场关于自动化和信息化时刻条目越来越高。因此从中长期来看,新建的半导体工场会将AMHS算作“必选项”,对AMHS的需求主要体现时高度自动化、智能化、信息化,具备高可靠性和高安全性,同期具备一定的纯真性和可扩展性,以减少对东谈主的依赖,升迁通盘这个词分娩机台的使用率和库存盘活率。
以OHT系统为中枢的洁净室AMHS全体搞定决策,其最大上风在于效率止境高,何况主要布局皆在空中,不会占用大地。因为无尘车间可谓“寸土寸金”,OHT系统的应用不错开释更多的空间布局,用于增多机台开导膨胀产能。但在某些工艺段,比如需要干湿工艺,大概兼具高柔性、高精度的场景应用需求等,只怕稳当使用天车,需要有计划AGV等开导的组合应用。
同期,值得激情的还有智能转变系统,这亦然现时国内AMHS厂商效率开拓的鸿沟。关于AMHS而言,怎样终局转变系统和MCS(物料死心系统)快速反应分娩的波峰和波谷,契合分娩工艺的诊疗,是AMHS厂商将来需要效率摧毁的要点。
另外,还不错集结数据化和信息化作念进一步延迟。现时越来越多的业主方十分深嗜对分娩数据的挖掘和分析,主义是了解分娩过程的每一个表率,发现潜在问题并提倡矫正门径。这项职责关于AMHS而言相同会带来很大价值。比如,不错通过分析物料搬运的节奏、盘活情况和机台使用率等,优化工艺布局、开导建立及转变战术。
格创东智AMHS应用翻新
稳当性和高效性是AMHS系统性能的迫切主义。针对这两式样的,格创东智将自己在推辞性羡慕和动力浪掷管制方面的既有上风引入AMHS搞定决策中。
1、开导故障侦测与分类系统(FDC)
及时网罗开导分娩过程中的景色数据以及工艺参数,通过监控模子终局对分娩过程的失效模式的侦测和智能分析。该应用不错对AMHS进行推辞和臆想性羡慕,运用物联网时刻和AMHS网罗物料转机信息作念出判定。通过AI确立模子,匡助使用方运维团队减少停线,增强物流线体和自动化产线的鲁棒性,匡助半导体工场升迁分娩开导的效率和可靠性,终局极致良率、极致效率、极致资本的发展场所。
2、聪敏动力管制系统(EMS)
半导体工场是高能耗行业之一,能耗主要来公正造开导和透风空调系统。咱们基于对历史数据的分析,发现其中存在一定的冗余空间。比如半导体工场的洁净车间需要保抓一定湿度和温度,但透风空调开导的开启和住手死心其实有很大的空间值得挖掘。AMHS中的开导应用亦然如斯,咱们不错将通盘这个词物料信息化和通盘机台开导信息化系统买通,集结AI算法为客户提供何时开/关的最优动力管制,匡助其减少动力浪掷和碳排放外国色情片,进而终局节能减排降耗增效的分娩发展效率。
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